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正航仪器技术介绍真空系统操作规则

时间:2015-08-25 11:25来源:未知 作者:正航仪器 点击:
正航仪器技术介绍真空系统操作规则
(1)起动机械泵时,首先要保证转子运动方向正确,而且油位合乎要求。
(2)机械泵停止后,立即将机械泵入口通入大气。因泵内真空会使泵油进入系统中。
(3)不要用机械泵把高真空室直接抽至低于13.33Pa压强,否则机械泵油蒸气会进入高真空室。因为压强低于13.33Pa时,会出现分子性气流,油蒸气分子将返流到真空室而造成污染。如果在机械泵与真空室间设有冷凝捕集器,则允许机械泵抽到13.3Pa以下的压强,这时捕集器可以防止油蒸气进入真空室。
(4)不要使机械泵在大气压强下或较高压强下连续长时间工作,否则电机会过热,且泵会喷出油雾。
(5)在扩散泵(或油增压泵)通大气之前,应将泵油冷却到安全温度,防止高温下泵油氧化。
(6)蒸气流泵在加热之前,应供给冷却水。该泵应该配备热保护继电器。当发生停水事故时,能立即使加热器断电,并关闭入口阀门防止泵液因温度过高而恶化。
(7)由于扩散泵油返流在泵开始工作和泵停止加热阶段特别利害,因此在开泵前和停泵前将扩散泵入口阀门关闭,可以防止泵油返流到真空室。
(8)不要在压强高于lO-2Pa时给阱加入液氮,这样导致凝结很多水气。在使用前要把液氮阱的贮液罐中的所有水凝液都清除掉,以避免水冻结在阱内。开始抽气时,分步地加注液氮,这样可使真空系统冷凝物主要捕集在阱的下部。当达到高真空后,应给阱加注液氮达到较高液面,大量捕集气体。
(9)为了缩短抽空时间,将真空室对大气压作短时间通气时,使用干燥氮气为好。把真空系统内表面的湿气减到最小限度。通气时应在真空室一侧用放气阀门进行放气。不可以从扩散泵出口的前级管道上通气。
(10)使用电离计时,应在真空室内压强达到1.33×lO-1Pa时,再使用电离真空计(热阴极电离真空计)。防止因室内压强高而烧坏规管。
(11)在真空系统停止工作时,应将系统各元件(包括真空室)都保持在真空状态下封存,但机械泵要通大气。
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