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正航详细介绍增加真空密封性能的措施

时间:2015-07-17 11:33来源:未知 作者:正航仪器 点击:
正航详细介绍增加真空密封性能的措施
根据真空密封技术的研究现状分析,增加密封性能的主要措施有四种: 
、改进真空系统机械结构
真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键,真空系统的结构合理与否,将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。在系统结构设计中应注意以下几点:
(1)真空系统内部尽可能地避免出现小曲率半径的死角、弯角,要圆角光滑过渡,不留死角,有利于打磨抛光、清洗清扫。
(2)抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道,采用圆弧过渡,使气路畅通无阻,但要考虑清洗清扫的方便性。
(3)认真设计真空室内各种连接件的结构,减少螺纹连接、销钉连接、铆钉铆接,使气路畅通,避免气路堵塞。
(4)打磨抛光真空系统内表面,使其表面光亮如镜,表面越光亮就越不易气体吸附,越容易获得真空。
(5)尽可能减小真空室的体积,缩短管路系统。
(6)在不影响使用的条件下,可在真空系统内部设置烘烤装置。
第二、选择合适的密封形式
密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式,对于人工品体生长设备,一般需要的真空度在10-3Pa以下,因此,无需采用金属密封。以TDR-70型单品炉为例,我们选择磁性流体密封作为旋转动密封,选择高精度大仲缩量的焊接波纹管进行移动密封,小直径轴的旋转密封选用“O”型密封圈或威尔逊密封,各种静密封则采用“O”型密封圈密封形式,直径压缩比为15%~25%。 
第三、选择合适的密封结构材料
真空度在10-3Pa以下的真空系统,密封材料一般选择橡胶密封圈即可满足要求。但是,考虑到实际工作条件的需要,根据不同的应用场合,应选用更加合适的密封结构材料。
第四、选择合适的静密封结构
各种真空系统中,80%以上的密封为静密封,静密封效果的好坏,对系统的真空度及漏气率有很大的影响。因此,对静密封结构进行认真的优化设计,是达到理想真空度要求的关键。对静密封结构的优化设计,主要考虑如何选择密封槽的结构、选择主要密封面、如何减小残留气体及如何充分发挥橡胶密封圈功能。静密封的机构设计,除了金属密封外,从理论上分析采用圆弧形密封槽结构对降低真空系统漏气率较为理想,但考虑到各种密封系统的实际情况,大多数静密封结构需采用矩形槽或梯形燕尾槽,这是在密封系统中较常见的结构。
 
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