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正航仪器技能收拾规范漏孔

时间:2016-02-18 15:54来源:正航仪器 作者:网络编辑 点击:

☞ 规范漏孔是在必定条件下向真空体系内部供给已知气体流量的元件。
☞ 通常要清晰这个气流量(即漏率)的气体品种、温度、压力等条件。
☞ 假如不格外指明,则指温度为296±3K、进口压力为1.01×105Pa、出口压力低于1.33×103Pa的枯燥空气(其露点温度低于248K)的漏率。
☞ 常用的规范漏孔几种常用规范漏孔的构造如图10所示。
正航仪器详细图
☞ 玻璃毛细管型规范漏孔(图中a)是用部分拉细的玻璃毛细管制成的,漏率为10-8~10-7Pam3/s。
☞ 金属压扁型规范漏孔(图中b)通常是用无氧铜或可伐管限制而成,漏率为10-8~10-6Pam3/s。
☞ 玻璃铂丝型规范漏孔(图中c)是运用玻璃与铂丝的不匹配封接制成的当铂丝直径为0.1~0.5mm;封接长度为5~10mm时,漏率约为10-7Pam3/s。当温度改动时,其漏率改变。
☞ 若296K的漏率为qL、296,则温度T时的漏率为式(8)。式中f(T)的曲线如图11所示。
☞ 薄膜渗氦型规范漏孔(图中d)是运用石英薄膜球泡的渗氦速率制成的,其漏率通常为10-5~10-9Pam3/s。
☞ 因为温度对漏率的影响很大,运用时应当留意批改。假如温度T1时漏孔漏率为qL、T1,运用温度T2时的漏率应为式(9)。式中,E-氦在石英中的浸透激活能;R-摩尔气体常数。
☞ 规范漏孔的校准
☞ 规范漏孔的常用校准办法有定容升压法和氦质谱检漏仪比较法。
☞ 定容升压法
☞ 定容升压法校准体系示意图如图12所示经预抽并烘烤容积V后,规范漏孔进气端压力p1<1.33×103Pa,而V到达极限真空。
☞ 当压力为1.01×105Pa的校准气体(例如N2气)经规范漏孔流进容积V,并在V中压力p2安稳后,封闭阀门S2记载时刻和环境温度T,测出对应Δt时刻的升压Δp2则规范漏孔的漏率为式(10)。
☞ 氦质谱检漏仪的比较法
☞ 氦质谱检漏仪比较法校准体系如图13所示在检漏仪工作条件不变的前提下,先后测出已知漏孔L1和待校漏孔L2的进气氦压和信号,则待校规范漏孔的漏率为式(11)。
☞ 式中,qL,01-已知规范漏孔L1的漏率;p1,p2-分别为L1、L2漏孔进气端氦压;I1,I2-分别为L1,L2漏孔的输出信号;I0-检漏仪本底。
正航仪器详细图
国产检漏仪器的主要参数见表12和表13。 
东莞正航仪器下箱体
东莞正航仪器细节图 
 
 
 
  
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