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正航仪器介绍双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪

时间:2016-02-18 15:37来源:正航仪器 作者:网络编辑 点击:

☎ 图4示出了双级900缩转串联式磁偏转型氦质谱检漏仪的质谱室。
☎ 因为两次剖析,减少了非氦离子抵达搜集器的机率。而且,如在两个剖析器的中心,即图中的中心缝隙S2与 附近的挡板间设置加快电场,使离子在进入第二个剖析器前再次被加快。那些与氦离子动量一样的非氦离子,尽管能够经过榜剖析器,可是,经第2次加快进入 第二个剖析器后,因为其动量与氦离子的不一样而被别离出来。
☎ 因为二次别离,仪器本底及本底噪声明显地减小,提高了仪器灵敏度。
正航仪器详细图
☎ 逆流氦质谱检漏仪
☎ 逆流氦质谱检漏仪的构造特色如图5所示。该类仪器是依据油涣散泵或分子泵的紧缩比与气体品种有关的原理制成的。例如,多级油涣散泵对氦气的紧缩比为102;对空气中其它成分的紧缩比为lO4~106。检漏时,经过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气,仍有有些返流到质谱室中去,并由仪器的输出指示示出漏气信号。这即是逆流氦顷质谱检漏仪的作业原理。
☎ 功能实验办法
☎ 灵敏度、反应时刻、铲除时刻、作业真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评估氦质谱检漏仪的首要功能指标。
☎ 灵敏度及其校准
☎ 氦质谱检漏仪灵敏度,通常指仪器的最小可检漏率记为qL.min, 即在仪器处于作业条件下,以一个大气压的纯氦气为示漏气体,进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。☎ 所谓“作业条件”是指仪器参数调整到 值,被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器自身的抽气体系仍在正常抽气。
☎ 仪器的反应时刻不大于3s。所谓“最小可检”是指检漏讯 号为仪器本底噪声的两倍时,才干确定有漏气信号输出。
☎ 所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的枯燥空气经过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声,通常指在 2min内输出外表的波动量。
☎ 漏率灵敏度规范体系如图6所示图中虚线框内有些为配气体系.即为规范漏孔5进气端供给压力为pHe的纯氦气辅佐泵6的使命是预抽。用枯燥瓶4和针阀2调理仪器作业压力。 
☎ 假如仪器本底为I0,本底噪声为In,规范漏孔对空气的标称漏率为qL.o,当其进气压力为pHe时的仪器信号为I,则仪器灵敏度为式(6)。
正航仪器详细图
假如检漏时用辅佐体系抽气(即对示漏氦气有分流)。或用累积法检漏时,给出仪器最小可检氦浓度(即浓度灵敏度)。记为γmin,能较方便地估量检漏作用。
☎ 浓度灵敏度校准体系中使用量计测出图6的经过针阀2进入仪器的空气流率qL.o,则仪器浓度灵敏度变成式(7)。
☎ 反应时刻、铲除时刻及其测定
☎ 反应时刻是指仪器节流阀彻底敞开,本底信号为零(或抵偿到零)时,由安稳的氦流量使输外表信号上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需求的时刻,记为τR。
☎ 铲除时刻是指输出外表信号安稳到值后,中止送氦,其信号降低到值的e-1倍(即O.37)所需求的时刻,记为τC。
☎ 反应时刻和铲除时刻的测定设备如图7所示。
东莞正航仪器细节图
☎ 作业真空、极限真空及入口处抽速
☎ 质谱室极限真空,尤其是作业真空及入口处抽速是表征仪器功能的首要参数。使用检漏仪的真空规能够测定仪器的极限真空和作业真空。使用流量计可测定仪器入口处抽速。
☎ 卤素检漏仪
☎ 用富含卤素(氟、氯、溴、碘)的气体为示漏气体的检漏仪器称为卤素检漏仪。该类仪器分两类:其一为传感器(即探头)与被检件相连接的称为固定式(也称内探 头式)卤素检漏仪;其二为传感器(即吸枪)在被检件外部查找的称为便携式(也称外探头式)卤素检漏仪。
☎ 示漏气体有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等,其间氯 里昂12。卤素检漏仪灵敏度可达3.2×lO-9Pam3/s。
☎ 作业原理与构造
☎ 金属铂在800~900oC温度下会发作正离子发射,当遇到卤素气体时,这种发射会急剧添加。
☎ 这即是所谓的“卤素效应”,使用此效应制成的卤素检漏仪的构造示意图如图8所示传感器是个二极管,加热丝、阴极(外筒)、阳极(内筒)均用铂材制成。
☎ 阳极被加热丝加热后发射正离子,被阴极接纳的离子流由检流计(或扩大器)指示出来,且有音响指示。
 ☎ 电气有些由加热电源、直流电源、离子流扩大器、输出显现及便携式的吸气设备电源等构成。
☎ 功能测验办法灵敏度、反应时刻及恢复时刻是卤素检漏仪的首要功能参数。
☎ 其测验办法与氦质谱检漏仪的一样,这儿不再赘述。可是,卤素检漏仪的指示与卤素气体的浓度有关: 通常,低浓度的指示是线性的,中等浓度的对错线性的,而当浓度很高时仪器呈现饱满或中毒景象。
☎ 所以在进行功能测验或检漏时,进入传感器的卤素气体的浓度不 宜高于百万分之一。
 固定式卤素检漏仪传感器应和lO-1~10oPa压力范围内作业,压力过高或过低都会致使仪器灵敏度的降低。
☎ 便携式卤素检漏仪的传感器基本上是在大气压下作业的,靠吸气设备吸入气体,使卤素气体流经传感器。
☎ 高频火花检漏器
☎ 高频火花检漏器是个高频高压对地放电器材,能够用于真空检漏。
☎ 作业原理与构造
☎ 电感串联谐振式高频火花检漏器的原理图。接通K,当接触器CD闭合时,电流流经L1、CD,电流很大,L1发生足够大的电磁力招引CD断开,所以构成L1、C、L2的回路。
☎ 因为阻抗添加,电流减小致使电磁力降低。从而使CD从头闭合。
☎ 如此重复,在L2上施加高频脉冲电压,因而高压线圈L3便感应出高频高压脉冲电压。而L3的一端对地放电发生高频火花击穿景象。这即是高频火花检漏器的作业原理。
☎ 玻璃真空体系的检漏:将高频火花检漏器的放电簧F沿着已抽暇的玻璃体系外外表渐渐移动,没有漏孔时放电火花束呈凌乱涣散状况,当遇到漏孔时火花束会集成一条细束,且指向体系上亮点(漏孔内空气电离率远远大于玻璃的成果),该亮点即是漏孔的方位。
☎ 金属真空体系的检漏:各种气体和蒸汽的辉光放电色彩如表3。
☎ 选用表中示漏物质施加在金属真空体系的可疑处,用高频火花检漏器激起体系上玻璃质规管或盲管内的气体,使之放电,调查放电色彩的改变便可完成检漏。
☎ 这种办法的作业压力为5×10-1~102Pa,检漏灵敏度为10-3Pam3/s。
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